Binnig [ 1 ] 首次预见到带有摆动悬臂的扫描力显微镜的使用。在工作中[ 2,3 ] 实现了使用摆动悬臂扫描的早期实验实现。证明了力梯度对悬臂频率偏移的影响以及非接触扫描样品表面的可能性。还必须注意，Durig在STM尖端[4]的影响下研究了振荡悬臂的频移。在[ 2 ]中也证明了在悬臂振荡幅度突然减小的情况下材料感测的可能性。在[[]中展示了不仅以吸引力而且以排斥力扫描样品表面的可能性。

4 ]。振荡频率随感测排斥力的变化相对较小，这意味着在振荡下悬臂尖端与样品表面的接触不是恒定的。仅在振荡的一小部分时间内，尖端“感觉到”接触排斥力。尤其涉及振幅相对较高的振荡。以这种方式摆动的悬臂扫描样品表面并非非接触，而是间歇性接触。扫描力显微镜操作的相应模式（间歇接触模式或半接触模式）是常见的做法。

在扫描下“感觉”到接触排斥力会导致悬臂振荡相对于压电驱动器振荡的附加相移。该相移取决于材料特性。配准在扫描下的相移（相衬成像模式）对于纳米结构和非均质材料非常有用。与接触错误模式类似，可以使用半接触错误模式在大面积上查找较小的不规则性。

所述Semicontact模式可以通过一定的优势与比较来表征DC接触模式。首先，在这种模式下，悬臂施加在表面上的压力较小，因此可以与较软且易于损坏的材料（例如聚合物和生物有机物）一起使用。半接触模式对与表面的相互作用也更加敏感，这使得可以研究表面的某些特征-磁畴和电畴的分布，表面的弹性和粘度。 

References

1. US Pat. 4724318.
2. J. Appl. Phys. 61, 4723 (1987).
3. Appl. Phys. Lett. 53, 2400 (1988).
4. Phys. Rev. Lett. 57, 2403 (1986).