LiteScope™

扫描探针显微镜的设计易于集成到电子显微镜中。 互补的SPM 和SEM 技术的结合使得能够利用两种常用显微镜技术的优势。

全面的样本分析，包括：

• 表面形貌的表征
• 机械性能
• 电性能
• 磁性

LiteScope™还可以与其他SEM附件结合使用：

• 聚焦离子束（FIB)
• 气体注入系统（GIS）

用于制造纳米/微结构和表面修饰。通过这种组合，LiteScope™可以轻松快速地对制造的结构进行3D检查。

其他优势

• 自感应探头，无需光学检测，无需激光调整
• 商用探头，多种测量模式
• 客户定制的探头可与根据客户要求设计的合适探头支架一起使用
• 测量头可以缩回到LiteScope™的主体中，以释放样品周围的空间
• SPM在倾斜位置（倾斜0°– 60°）的操作，最小值 WD = 5毫米
• 用户友好的软件，无需特殊安装
• 远程访问结果和测量设置

相关探针 和电子显微镜（CPEM）已开发用于使用相关成像技术，并带来了解决方案，该解决方案可以同步：

• 扫描区域
• 分辨率和图像失真
• 并能够实时关联采集的SPM和SEM图像

NenoVision引入了CPEM技术

CPEM技术

CPEM可以在同一时间和同一协调系统中同时通过SEM和SPM对一个区域进行同时的表面表征。

以已知的恒定偏移量和相同的分辨率进行同时扫描，可确保在同一表面上进行分析，并可通过我们的NenoView软件直接用于在线成像。

LiteScope™数据

LiteScope™通常用于高真空中，但也可根据要求适用于超高真空条件。

• 总重量：1 kg
• 真空工作范围：10e5 Pa至10e-5 Pa
• 扫描范围X，Y，Z：100×100 ×1 00μm或38x38x38μm
• 分辨率：高达0.4 nm或0.07 nm
• 最大样品尺寸：10毫米× 10毫米
• 最大样品高度：8毫米

我们提供完全非磁性的版本，也可根据要求提供闭环。

• 外形小巧，体积小， 可集成到SEM / FIB仪器中
• 易于集成的过程 –安装在SEM / FIB机械手上
• 当整个SPM探针隐藏在LiteScopeTM主体中时，可使用对接选项
• 通用探头支架，适用于多种SPM方法并易于“即插即用”组装
• 样品倾斜高达60°
• 针对低振动水平（刚度和适当的共振频率）进行了优化的机械设计，集成了前置放大器（以尽可能消除信号失真/噪声）

• 动态测量的最大PLL频率为75 kHz，适用于基于音叉的探头（或使用外部PLL或根据客户要求更高）
• 每个扫描轴2 × 16位DAC（扫描范围，偏移），以在视场内的任何地方达到最大分辨率
• 6 × 16位辅助输入，用于同时测量用户信号（±10 V）
• 输入通道可用于反馈回路混频器
• 探头信号输出/监控
• 外部探头激励
• 使用外部锁定/ PLL所需的所有连接
• 以太网连接到控制PC
• 110 VAC或230 VAC操作，200 W
• 前置放大器位于LiteScope™的主体内，可确保大大降低电噪声

• 保存数据以及所有信息，包括测量设​​置
• 基于Web的用户界面
• 易于新用户使用，对专家灵活
• 用户帐户可单独配置
• 远程访问用户数据
• 将数据从控制PC下载到本地计算机
• 通过平板电脑，智能手机等进行远程实验控制
• 集成的数据后处理，分析，导出等

成像模式

LiteScope™提供并支持各种SPM测量方法和探头。

其设计的基石和最有价值的技术特征是通用探头支架，可以非常轻松地“即插即用”安装不同的探头。

原子力显微镜

接触模式
在接触模式下，尖端在整个样品表面上“下垂”，并且可以直接使用悬臂的偏转来测量表面的轮廓，或更常见的是，使用将悬臂保持在一定角度所需的反馈信号进行测量。恒定挠度。

轻敲模式
在轻敲模式下，驱动探头以其共振频率或接近共振频率垂直振荡。这种振动是通过探针（音叉），集成加热器元件（PRSA）或悬臂支架（PRS）中的小型压电元件的压电特性实现的。这种振荡的幅度通常在几纳米到200纳米之间变化。

导电模式
C-AFM）是原子力显微镜（AFM）的一种变体，与形貌学同时测量电流以构建研究样品的电导率图。电流流过显微镜的金属涂层尖端和导电样品。

静电力显微镜

EFM是一种动态非接触式原子力显微镜，可在其中探测静电力。由于分离的电荷的吸引或排斥而产生该力。这是一个远距离作用力，可以从样品中检测出100 nm或更大的距离。

局域电压/电流测量

LiteScopeTM也可用作独立的纳米操纵器。将金属尖端粘贴在样品中所需的位置，然后测量局部电压/电流。此模式不是显微镜技术，但可用于测量例如电子束感应电流等。

力调制显微镜

FMM是在接触模式下运行的AFM成像的扩展，用于检测样品表面机械性能的变化，例如弹性或附着力。

在FMM模式下，AFM尖端与样品表面接触时进行扫描，并且Z反馈环与恒力模式AFM一样保持恒定的悬臂挠度。

开尔文探针力显微镜

KPFM是一种扫描探针法，其中可以使用与宏观Kelvin探针相同的原理来测量探针尖端与表面的局部接触电势差。AFM中的悬臂是一个参比电极，该参比电极与表面形成电容器，在该表面上以恒定间隔横向扫描。悬臂不是像通常的AFM那样以其机械共振频率ω0从外部驱动，尽管在此频率下在尖端和表面之间施加了交流电压。

磁力显微镜

MFM是原子力显微镜的一种模式，其中尖锐的磁化尖端可扫描磁性样品；尖端样品的磁性相互作用被检测到并用于重建样品表面的磁性结构。

MFM可测量多种类型的磁相互作用，包括磁偶极-偶极相互作用，磁畴壁，磁涡旋等。MFM扫描通常使用非接触式AFM（NC-AFM）模式。

扫描隧道显微镜

STM是一种用于在原子水平上成像导电表面的技术。STM不仅可以用于超高真空，还可以在空气，水以及各种其他液体或气体环境中使用，温度范围从接近零开尔文到几百摄氏度。

Akiyama Probe

该探头基于石英音叉 和微机械悬臂

这种新型探头的最大优点是，用户可以通过一个探头同时受益于音叉的极其稳定的振荡和硅悬臂的合理弹簧常数。

由NANOSENSORS提供

PRS/A 探针

压电电阻敏感有源（PRSA）探头是硅悬臂梁，具有集成的压电电阻桥和热加热器，用于自感应和自触发扫描探头显微镜应用。

压电电阻集成到匹配的惠斯通电桥中，以优化灵敏度并补偿环境热漂移。

由SCL-Sensor.Tech提供

音叉

石英音叉用于检测尖端和表面之间的原子力。音叉的高刚度可实现非常低的振荡幅度，而高Q因子可确保足够的灵敏度。探头可以具有一个导电尖端，该导电尖端可以连接到电子读数器（用于导电AFM或隧穿电流读数器），而不会与叉形电极发生串扰。样品的磁性也可以通过带有铁磁尖端的音叉传感器来检查。此外，有经验的最终用户可以使用各种尖端材料来构造音叉传感器，以调节所需的特性。

Pt/Ir wire

导线是用于STM测量的基本探针。

尽管Pt / Ir合金是最容易用于此目的的合金之一，但可以使用许多其他材料（例如金，钼，镍等）。导线可以被电化学蚀刻或机械切割以形成非常锋利的尖端。这种探针还适合在纳米操纵器模式下进行本地电压/电流测量。