TS150-AIT & TS200-THZ

TS150-AIT和TS200-THZ探针系统专为新兴的THz应用而设计，例如高速5G通信，卫星，非侵入性光谱，医疗保健设备以及短距离汽车雷达等，其方法是在同一探针台上增加有源阻抗调谐器集成。这两个系统是业界首个明确设计的150 mm和200 mm探针系统，可结合毫米波，太赫兹（THz）和自动阻抗调谐器应用的要求，以最佳的测量方向性提供准确的测试。

• 任意最高可达1.5THz的带宽、差分或宽带扩频器和/或自动阻抗调谐器的无缝集成；
• 扩展器/调谐器集成的新颖设计，可实现最大的测量动态；
• 最大的机械稳定性和可重复性，结合方便和安全的操作。

气浮式移动系统

MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手定标器控制，为快速的XY导航和晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性，同时搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯，不影响精确定位能力。

卡盘Z调整

TS150-THZ具有10mm的精细卡盘Z调整，旨在灵活地集成不同的扩频器，例如Rohde＆Schwarz，VDI或OML。对于在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案的设置非常有利，可以轻松快速地进行设置。

微型定位器

专用的极刚性探针台板设计可容纳两个东西方向的粗体——东西向配置的下行MP80大面积微选址器。通过将两个南北“电桥”作为标准配置，可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。

MP80-DX

市场上另一个MPI开拓性解决方案——独特的MP80-DX，具有低至1µm的简单、精确的精确度，是精确且经济高效的多线TRL的理想选择，即多行TRL——毫米波和次太赫兹范围内唯一的RF校准方法。有关更多详细信息，请访问 MPI QAlibria® 软件。

多种卡盘选项

TS200-THZ提供多种卡盘选件，以满足不同的预算和应用要求，例如MPI：带BNC连接器的标准RF卡盘； 专用mmW卡盘，完全内置具有高导热率（> 180 W / Km）的特殊陶瓷；甚至 ERS AirCool射频卡盘（从20°C到200°C或更高），带有集成的镀金顶面和小的真空孔。 所有卡盘都有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的RF校准，尤其是在40 GHz以上的范围内。

多种光学选项

提供专用的MPI光学元件 ，可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光学变焦高达12倍，工作距离超过45毫米。由于集成扩频器固有的空间限制，要求与DUT的距离最短，因此这种显微镜的体积小，非常适合RF和mmW应用。