响应式图像 NX20 高精度全自动大面积原子力显微镜

用于缺陷分析和大型样品研究的领先纳米计量工具

作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器,其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20,这款全球最精密的大型样品原子力显微镜,凭借着出色的数据准确性,在半导体和超平样品行业中大受赞扬。


概述

最强大全面的分析功能

Park NX20具备独一无二的功能,可快速帮助客户找到产品失效的原因,并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。无与伦比的精密度为您带来高分辨率数据,让您能够更加专注于工作。与此同时,真正非接触扫描模式让探针尖端更锋利、更耐用,无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。。

即便是第一次接触原子显微镜的工程师也易于操作

ParkNX20拥有业界最为便捷的设计和自动界面,让你在使用时无需花费大量的时间和精力,也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点,您可以更加专注于解决更为重大的问题,并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。


技术特点

为FA和研究实验室提供精确的形貌测量解决方案

样品侧壁三维结构测量

NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面,并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必备的。


对样品和基片进行表面光洁度测量

表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一,能够带来精确的失效分析和质量保证。


高分辨率电子扫描模式

QuickStep SCM

最快的扫描式电容显微镜

PinPoint AFM

无摩擦导电原子力显微镜


多种独有的专利技术帮助顾客减少测试时间

CrN样品所做的针尖磨损实验

最佳AFM测量

低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌

没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌

超低噪声Z探测器,噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像,没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。

  • 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。
  • 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。
  • 没有前沿或后沿过冲现象
  • 终身无需校准,减少设备维护成本

Park NX系列原子力显微镜

传统的原子力显微镜

Park NX20特点

低噪声XYZ位置传感器

行业领先的低噪声Z轴探测器代替Z电压作为形貌信号。低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

自动多点扫描

借助驱动样品台,步进扫描可编程步进扫描,多区域成像,以下是它的工作流程:
  • 扫描成像
  • 抬起悬臂
  • 移动驱动平台到设定位置
  • 进针
  • 重复扫描

该自动化功能可大大减少扫描过程中人工移动样品所需时间,从而缩短测试时间,提高生产率。

滑动嵌入SLD镜头的自主固定方式

您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置,同时与复位精度为几微米的电路系统相连接。借助于相关性低的SLD,显微镜可精确成像并可准确测定力-距离曲线。

高级扫描探针显微镜模式和选项的扩展槽

只需将可选模块插入扩展槽便可激活高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块设计,其生产线设备兼容性得到大大提高

高速24位数字控制器

所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。 该控制器是个全数字,24位高速控制器,可确保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元,该控制器也是纳米成像和精确电压电流测量的绝佳选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能,更好的解决方案,是高级研究员的最佳选择。

XY和Z轴检测器的24位信号分辨率

  • XY轴(50 μm)的分辨率为0.003nm
  • Z轴(15 μm )的分辨率为0.001 μm

嵌入式数字信号处理功能

  • 三通道数码锁相放大器
  • 弹簧系数校准(热方法)
  • 数据Q控制

集成式信号端口

  • 专用可编程信号输入/输出端口
  • 7个输入端口和3个输出端口

高速Z轴扫描器,扫描范围达15 µm

借助高强度压电叠堆和挠性设计,标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz)且探针的Z轴速率不低于48mm/秒。 Z轴最大扫描范围可从标准的15 µm扩展至30 µm(可另选Z扫描头)。

集成编码器的XY自动样品载台

编码器可用于所有自动样品载台,并可保证更高的重复定位精度,从而可更精确地控制样品测量位置。XY马达运动工作时分辨率为1 µm,重复率为2 µm。Z马达运动的分辨率为0.1 µm,重复率为1 µm。

操作方便的样品台

借助独特的镜头设计,用户可从侧面操作控样品和探针。根据XY轴样品台所设定的行程范围,用户在样品台上可放置的最大样品体积为直径200 mm。

结合了集成LED照明的同轴高倍显微镜

超长工作距离的定制物镜(工作距离50mm, 数值孔径0.21,分辨率1.0 μm )带来前所未有的镜头清晰度。直视同轴设计使得用户可轻易在样品表面寻找目标区域。EL20x的长行程物镜的大尺寸CCD可为您在高视角前提下提供0.7 μm的高分辨率。

自动Z轴移动和聚焦系统

高度限行Z轴移动和聚焦系统,可以得到清晰的视野和图像,用户通过软件界面进行操作,由高精度步进电机驱动,即使液体或者透明样品也可快速找到样品表面。