响应式图像 XE15大样品台工业原子力显微镜

利用我们功能强大的多功能原子力显微镜提高生产率

Park XE15具有众多的独特功能,是处理多种样品的共享实验室、进行多变量实验的研究院以及晶片故障分析工程师的最佳选择。同时,合理的价格和稳健的功能使之成为业内最超值的大型样品原子力显微镜之一。

概述

Unique MultiSample™ scan boosts research productivity

Park XE15能够一次性扫描和测量多个样品,让您的效率一高再高。您只需要将样品放入工作台,再启动扫描程序便可。该功能也可以让您在相同的环境条件下扫描样品,从而提高数据的精确性和稳定性。

Large sample size increases possibilities

与大多数的原子力显微镜不同,Park XE15可扫描最大尺寸为200 mm x 200 mm的样品。这样既满足了研究员对扫描大样品的需求,也让故障分析工程师能够扫描硅片。

Features adaptable to any need

Park XE15配有绝大多数的扫描模式,可扫描各种尺寸的样品。得益于此,Park XE15是共用实验室的最佳配置,能够满足每个人的需求。

技术信息

使用MultiSample™扫描进行最方便的样品测量

Park XE15 MultiSample™ scan system
  • 一次性自动多样品成像
  • 特别设计的多样品卡盘,可装载多达16个样品
  • 全机动XY轴样品台,行程范围达150 mm x 150 mm

借助电动样品台,MultiSample™扫描模式能够允许用户自行编程,借助自动化步进扫描,实现多区域成像。

流程如下:
1.记录用户定义的多个扫描位置
2.在第一个扫描位置成像
3.提升悬臂
4.将电动样品台移至下一个用户定义坐标
5.探针接近
6.重复扫描

记录多个扫描位置十分简单,您可以输入样品-样品台坐标或使用两个参考点校正样品位置。该自动化功能大大减少您在扫描过程中需要的工作,极大提高了生产力。

通过消除串扰进行准确的XY扫描

Park Systems的先进串扰消除(XE)扫描系统能够有效解决上述问题。我们使用了二维柔性平台专门扫描样品的XY轴位置,并通过压电叠堆传动装置专门扫描探针悬臂的Z轴位置。用于XY轴扫描的柔性平台采用了固体铝材,其具有超高的正交性和出色的平面外运动轨迹。柔性平台可在XY轴扫描大型样品(1 kg左右),频率最高达100 Hz左右。由于XY轴的带宽要求远低于Z轴的带宽要求,因此该扫描速度已然足够。用于Z轴扫描的压电叠堆传动装置具有大的推拉力和高共振频率(约10 kHz)。

二维柔性平板扫描仪,扫描范围为10 µm x 10 µm

XY轴扫描器含有对称的二维柔性和高强度压电叠堆,可在保持平面外运动最少的情况下,实现高正交运动以及纳米级样品扫描下的高响应度。紧凑且坚固的结构是为了低噪声高速伺服回应而设计的。

柔性High Force Z扫描仪

凭借着高强度压电叠堆和柔性结构,其可以允许扫描器以更高的速度纵向移动,这是传统原子力显微镜中扫描器所无法做到的。最大Z轴扫描范围可从标准的12 µm增至40µm(选购远距离Z轴扫描器)。

滑动链接SLD

燕尾式轨道设计,轻松更换原子力显微镜镜头。借助超辐射发光二极管(SLD)的低相干性,显微镜可精确成像高度反光表面和精密测量pico-Newton力对距光谱。此外,超辐射发光二极管的波长也解决了干扰问题,让用户可随意在可见光谱实验中使用原子力显微镜。

多样本卡盘

特别设计的多样品卡盘,可装载多达16个样品,可由MultiSample自动扫描模式按序扫描。借助独特的镜头设计,用户可从侧面轻易操作样品和探针。

无障碍样品架

独特的镜头设计可扫描尺寸最高为100 mm的样品,且可轻易从侧面更换样品和探针。

手动XY样品台

在手动XY轴样品台的精确控制下,样品的测量定位变得简单。XY轴样品台的行程范围是13 mm x 13 mm。

手动光学平台

同轴镜头可手动调焦。
  • 带有控制器板中的DSP板的Park XE控制电子设备

    原子力显微镜的纳米级信号是由高性能的Park XE电子控制器所控制和处理的。凭借着低噪声设计和高速处理单元,Park XE电子控制器成功实现了True Non-Contact™模式,这是纳米级成像和精确电压电流测量的绝佳选择。
    • 高性能处理单元,频率达600 MHz,处理速度高达4800 MIPS
    • 低噪声设计,带来精确的电流电压测量
    • 全能系统,融合各种扫描探针显微镜技术
    • 外部信号获取模块,获取原子力显微镜输入/输出信号
    • 最大16幅数字图像
    • 最大分辨率:4096 × 4096
    • 16位ADC/DAC,频率为500 kHz
    • 隔离通过TCP/IP连接的电脑电噪声
  • 扫描模式

    最可扩展的AFM解决方案

    支持Park行业中最广泛的SPM模式和选项

    现如今,研究院需要描述不同测量条件和样品条件下的各类物理性质。Park Systems带来业内最多的扫描探针显微镜模式、最多的原子力显微镜选择和最佳的兼容性和升级性,让样品先进的表征扫描变得简单。