目前,最常用的探针-样品距离调节方法取决于对近场探针末端和样品之间的剪切力的检测[ 1 ]。基于剪切力的系统允许单独使用剪切力显微镜,或同时进行剪切力和近场成像,包括用于透明样品的透射模式,用于不透明样品的反射模式和用于样品其他表征的发光模式。
使用石英音叉作为传感器将光学探头固定在表面非光学方案附近。与光学保持方案相比,它可以增加有用信噪比。这对于分辨率受限的操作非常重要。也不会出现光诱导的载体。研究半导体的某些性能是必要的要求。
获取有关表面信息的非光学方法的核心思想是使用石英音叉的响应与表面相互作用,该响应连接到光纤。借助于外部进给元件,可在横向振动中激发系统的光纤石英,从而提高石英共振频率。使用进一步的压电效应:在存在机械振荡的情况下,石英的电输出具有电压响应,该电压响应用作有关纤维振荡幅度的信息信号。
剪切力显微镜通过以下方式实现。压电驱动器通过石英音叉激发光纤探头的初始振幅。石英的合适输出值为Ao。接近样品表面后,光纤探针振荡的振幅达到某个设定值,石英输出达到值A。之后,通过反馈系统在保持该值的情况下进行样品表面扫描。
References
- Appl. Phys. Lett. 60, 2484 (1992).